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本公开提供一种在集成电路器件中形成的薄膜电阻器(TFR)模块。该TFR模块包括一对金属TFR头部(例如，铜镶嵌沟槽结构)、TFR元件和连接到该TFR头部的TFR接触件，该TFR元件在该金属TFR头部上直接形成以限定穿过该TFR元件位于该对T...
该专利属于微芯片技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过微芯片技术股份有限公司授权不得商用。

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