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本申请提供一种探针卡测温系统及测温方法，其中探针卡测温系统中测温线、第一连接器和温度传感器均预设于探针卡内部，第二连接器位于探针卡外部，其中探针卡内部的晶圆侧结构件和探针接口板设置测温通孔，测温线设置于探针接口板的上表面；测温线的测温端穿过...
该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。

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