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本发明公开了一种碳化硅离子激活退火装置及碳化硅离子激活退火方法；所述碳化硅离子激活退火装置，包括高温炉、石墨坩埚；高温炉的炉壁上设有进气口和出气口；石墨坩埚位于高温炉的炉膛内；该石墨坩埚设有外壳、内壳和坩埚盖；内壳内部形成内膛；外壳和内壳间...
该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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