下载一种N型电池选择性发射极制备工艺的技术资料

文档序号:37979173

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本发明提供了一种N型电池选择性发射极制备工艺,属于光伏技术领域。本发明工艺先在图形区域内涂覆SiO2纳米球硼酸浆料,然后进行预掺杂,使得图形区域内形成一定的掺杂浓度和深度,图形区域外无硼掺杂,去残后进行硼扩,制备出选择性发射极结构。所述工艺...
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