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本发明提供一种用于微电子器件的真空腔内部的气密性监测结构，其包括：第一基板和第二基板，所述第二基板包括：相对的第一主面和第二主面，所述第二基板的第一主面的表面上形成有用于容纳微电子器件的空腔，所述第二基板的第一主面与所述第一基板键合以使所述...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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