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一种谐振式NO2气体传感结构及其制备方法、测试系统、测试方法技术方案
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下载一种谐振式NO2气体传感结构及其制备方法、测试系统、测试方法的技术资料
文档序号:37974907
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本申请实施例提供一种谐振式NO2气体传感结构,包括:栅极基底;绝缘层:设置于栅极基底上;电极层:设置于绝缘层上,主要由间隔位于绝缘层上的源极电极和漏极电极构成;沟道:设置于绝缘层上,且位于源极电极和漏极电极之间;石墨烯单层薄膜:设置于电极层...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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