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本发明提供一种电子束蒸镀金属膜层应力监控方法，通过采用电子束蒸镀工艺在晶圆表面制备金属膜层之前，在晶圆的预设位置上制备识别图形，即在晶圆上同时具有识别图形和金属图形，当金属膜层制备完成后，对识别图形的状态进行检测，并根据检测结果，判断金属膜...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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