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本发明公开了一种微米尺度下界面力的动静态光学测量系统及其测量方法，该系统包括微米探头模块、准直光路模块、信号调理电路、上位机采集处理模块以及高精度位移驱动模块，该系统的探针针尖在微米量级，采用一种接触式谐振探头的测量结构，利用光杠杆原理的光...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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