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本发明提供一种光学邻近校正模型的建模方法、装置、设备及介质，包括：获取晶圆版图数据集与初始光学邻近校正模型；在所述初始光学邻近校正模型中设置期望成本；将所述晶圆版图数据集输入到所述初始光学邻近校正模型进行优化训练，以生成中间光学邻近校正模型...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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