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本发明涉及一种功能化物体(100)，该功能化物体具有至少一个机械波传感器(10)，该机械波传感器向该物体提供振动和变形检测能力。该机械波传感器(10)包括：敏感单元(11)，该敏感单元具有小于或等于50微米的厚度，并且包括由单晶或多晶压电材...
该专利属于法国原子能和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过法国原子能和替代能源委员会授权不得商用。

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