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提供了一种形成阴极层的方法。该方法包括：远离一个或多个溅射靶产生等离子体；使用等离子体从一个或多个靶溅射出材料；以及在已经施加了偏压的基板上沉积溅射材料，从而形成阴极层。阴极层。阴极层。
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