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本主题的示例提供了用于使用指定缺陷的单个TFM图像来计算各种网格分辨率的振幅保真度(AF)的技术。因此，可以使用计算处理而不执行盲迭代处理来设置网格分辨率使得其产生所期望的AF。此外，本主题的示例可以在多于一个轴上测量AF，从而提高准确度。...
该专利属于加拿大埃维登特有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过加拿大埃维登特有限公司授权不得商用。

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