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本发明公开了高真空射频等离子体自由基热压键合一体机以及键合方法，机体上安装真空石英管腔体，真空石英管腔体外缠绕射频线圈，真空石英管腔体设有腔门；真空石英管腔体连接抽真空系统；真空石英管腔体上方设有电动气缸，电动气缸的升降气缸杆通过波纹管连接...
该专利属于闽南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过闽南师范大学授权不得商用。

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