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本发明提供的是一种基于SWG波导和游标效应的嵌套微环折射率传感器件。其特征是：它由SOI基底1，具有亚波长周期性的梯形硅柱构成的微环2，具有亚波长周期的矩形硅柱构成的U型嵌套环波导3，硅环4，待测物包层5组成。亚波长光栅波导增强了光场与分析...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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