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本实用新型涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光调节加工系统，能够对光束直径进行调整。本实用新型包括激光模块、振镜调节模块、激光聚焦模块、扩束模块和光斑调节器；扩束模块设于激光模块的对应激光光路上；光斑调节器设于对应扩束模块的输出光路上；...
该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。

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