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炉门系统及具有炉门系统的高温刻蚀炉技术方案
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文档序号:37927825
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本实用新型提供了一种炉门系统及具有炉门系统的高温刻蚀炉,涉及高温刻蚀炉的技术领域。炉门系统包括安装部,安装部上开设有连通部;安装部上设置对称设置有第一炉门和第二炉门,且第一炉门和第二炉门均与连通部盖合适配;第一炉门上设置第一止动键,第二炉门...
该专利属于楚赟科技(绍兴)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过楚赟科技(绍兴)有限公司授权不得商用。
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