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本发明公开了一种热敏表面剪切应力传感器，包括加热／热敏线圈、支撑薄膜、隔热沟、支撑梁、热敏电极、电绝缘薄膜、硅衬底和引线电极，通过淀积在所述的硅衬底表面形成支撑薄膜和电绝缘薄膜，该支撑薄膜下面的衬底被刻蚀掉，并对加热／热敏线圈起支撑作用；该...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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