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微型半导体致冷晶粒贴装装置制造方法及图纸
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文档序号:37924715
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本发明涉及一种微型半导体致冷晶粒贴装装置,包括框体、三轴运动模组、控制器、吸放组件、相机、激光位移测距传感器;框体安装在三轴运动模组上,由三轴运动模组驱动移动,框体下端环设有光源;相机安装在框体上中部,相机下端的镜头与框体同轴设置;激光位移...
该专利属于泉州师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过泉州师范学院授权不得商用。
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