下载尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法的技术资料

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尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法涉及一种利用电化学法腐蚀和真空蒸镀技术,从而加工出尖端曲率半径在数十微米到数纳米范围的,对微小区域温度变化能够快速响应的微/纳米热电偶的制备方法。该热电偶为三部分构成,尖端曲率半径为微米级或纳米...
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