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一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器制备方法。其制备步骤为：首先，利用光刻方法在表面长有ＳｉＯ↓［２］的硅片上得到梳状电极；然后，在制备好的电极上沉积钯纳米粒子，形成传感器单元；最后，将一系列具有不同的初始电导值的传感器单元并联起来构成...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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