温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种加热装置，包括加热部件和真空泵，所述加热部件与所述真空泵之间设置有净化器，所述净化器包括机壳，所述机壳的进气口与所述加热部件连接，所述机壳的出气口与所述真空泵连接，所述机壳内部安装有滤网，所述滤网邻近所述进气口的一侧分布...
该专利属于无锡宏仁电子材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡宏仁电子材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。