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读出电路芯片的信号存储模块集成的非制冷红外探测器制造技术
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文档序号:37903334
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本实用新型涉及红外探测器芯片制造技术领域,为读出电路芯片的信号存储模块集成的非制冷红外探测器,包括MEMS器件及读出电路芯片,所述MEMS器件包括安装孔区及空置区,所述安装孔区设有焦平面阵列电路,所述空置区设有信号存储电路,所述空置区上设有...
该专利属于武汉鲲鹏微纳光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉鲲鹏微纳光电有限公司授权不得商用。
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