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本发明提供一种基于激光刻蚀工艺的器件结构的制备方法，包括：1)将多束激光母光束各自聚焦后等分处理成多个激光子光束，并将多个激光子光束进行等距排列；2)提供一控制模块，控制模块可独立控制各激光子光束；3)通过激光标记对位方法获取激光子光束的实...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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