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本发明公开了一种超大直径钼圆片表面渗钌工艺，经过前序准备步骤，将清洗好的钼圆片置于钌溶液中的电解槽中进行化学还原，形成覆盖在钼圆片表面的钌膜；之后放入氢气炉加热至８００℃后，钌层扩散，渗透合金，保温１小时，然后在氢气中冷却至１００℃，然后空...
该专利属于宜兴市科兴合金材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜兴市科兴合金材料有限公司授权不得商用。

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