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电容式硅微机械雨量传感器采用单晶硅膜（１）作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷（３）作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块（６）的下表面作为电容上电极，在硅质量块（６）的上表面是一层氧化硅（４），绝缘衬底上溅射的金属（２）作为电容的下电极，上下电...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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