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本实用新型公开一种大尺寸低缺陷碳化硅单晶生长装置，涉及碳化硅生产设备技术领域，包括上部石墨坩埚、下部石墨坩埚、多孔石墨圆筒、多孔石墨筒、籽晶提杆、石墨籽晶盖、保温毡和感应线圈；上部石墨坩埚设置于下部石墨坩埚的顶部，且上部石墨坩埚的底部与下部...
该专利属于宁波合盛新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波合盛新材料有限公司授权不得商用。

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