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一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法技术方案
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文档序号:37879363
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本发明公开了一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法,属于多晶硅还原炉控制领域,控制系统包括与还原炉配合的控制装置,控制装置包括控制面板和与控制面板电性连接的电压检测模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块和执行模块;控制方法包括将还原炉自...
该专利属于云南通威高纯晶硅有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南通威高纯晶硅有限公司授权不得商用。
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