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本发明公开了一种MPCVD设备用等离子体球的实时监控系统，包括高清CCD摄像机和位于高清CCD摄像机前端的光学滤光片，通过采用高清CCD摄像机对反应腔内的等离子体球进行实时监控，所述光学滤光片用于将获得的等离子体球的形貌通过高清CCD摄像机...
该专利属于上海光之盾科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海光之盾科技有限公司授权不得商用。

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