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本实用新型属于半导体制造领域，提供了一种研磨垫修整设备，包括研磨垫修整器、用于支撑所述研磨垫修整器的手臂，所述手臂底端设有毛刷底材，所述毛刷底材底面设有用于对研磨垫进行刷洗的毛刷，所述毛刷沿所述手臂长度方向布置。该研磨设备中，毛刷可以对研磨...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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