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本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种压电MEMS反射镜，包括：基底，所述基底具有相对的正面及背面，所述正面具有腔体；反射镜镜片，所述反射镜镜片位于所述腔体内部；与反射镜镜片连接的二级放大结构；与二级放大结构连接的一级放大结构。根据本实...
该专利属于合肥领航微系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥领航微系统集成有限公司授权不得商用。

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