下载一种降低激光器烧结爬铟的芯片结构及制备方法的技术资料

文档序号:37866441

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本发明提供一种降低激光器烧结爬铟的芯片结构及制备方法,属于半导体激光技术领域,包括外延片,外延片从下至上依次为衬底、缓冲层、下限制层、有源区、上限制层和帽层,外延片的中心位置设置有脊型光腔,脊型光腔深至上限制层,脊型光腔的两侧设置有隔离槽,...
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