下载一种半导体激光微通道及批量制备方法的技术资料

文档序号:37866114

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本发明公开了一种半导体激光微通道,该半导体激光微通道的主体结构为五层,分别为位于上下外层的冷却液密封层、位于次内层的上下层微通道层以及设置在中间内层的导引层,每层均设置有热沉结构。本发明进一步提供了批量制备上述半导体激光微通道的方法,先通过...
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