下载硅片上下料装置及光伏加工设备的技术资料

文档序号:37862528

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本实用新型公开了一种硅片上下料装置及光伏加工设备,硅片上下料装置包括变节距机构、第一整形机构及转运机构,变节距机构具有用于承托硅片的两端的承托空间,第一整形机构包括第一驱动单元以及第一承载单元,第一承载单元连接于第一驱动单元,第一驱动单元用...
该专利属于无锡先导智能装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡先导智能装备股份有限公司授权不得商用。

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