下载具有偏移校正功能的晶圆测试探针台的技术资料

文档序号:37862264

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于晶圆测试技术领域,具体是具有偏移校正功能的晶圆测试探针台,包括晶圆测试台,晶圆测试台的顶部焊接固定有固定座和支撑柱,支撑柱的顶部焊接固定有水平板,水平板的底部安装有三向运动部件,且三向运动部件作用于测试探针,操控面板包括处理器,处...
该专利属于苏州斯尔特微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州斯尔特微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。