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本申请涉及轮廓测量技术领域，特别是一种测量方法以及基于原子力显微镜测头的大范围轮廓仪。通过AFM测头得到样品轮廓的Z向测量值，基于Z向测量值与样品在AFM测头的探针针尖位置的测量误差值得到样品的真实Z向值，克服了大范围轮廓测量时引起的测量误...
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