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本发明公开一种用于多晶硅生产还原炉的进料装置，包括鼓泡汽化器、气液分离器，还包括膜层单元、控制系统，所述鼓泡汽化器上连接有三氯氢硅进料管线和氢气进料管线，分别用于通入三氯氢硅液体和氢气，所述膜层单元设于所述鼓泡汽化器内，用于使氢气在鼓泡汽化...
该专利属于新特硅基新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特硅基新材料有限公司授权不得商用。

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