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一种声波滤波器及信号处理电路制造技术
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文档序号:37856265
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本申请涉及器件制备技术领域,提供了一种声波滤波器及信号处理电路,声波滤波器包括并联谐振器和串联谐振器,并联谐振器和串联谐振器依次级联,其中,并联谐振器中的谐振器为高阶兰姆波谐振器,高阶兰姆波谐振器所激发的声波模式为一阶反对称兰姆波,串联谐振...
该专利属于上海馨欧集成微电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海馨欧集成微电有限公司授权不得商用。
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