下载三维样品扫描系统的技术资料

文档序号:37855986

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本发明涉及一种用于样品扫描的系统,所述系统包括:第一载物台,其包括具有样品狭槽的可移动样品保持件;第一移位器件,其联接到样品保持件,以用于在第一方向上移动所述样品保持件;光学装置,其包括用于朝向样品狭槽发射光的光源,一种元件,其包括:第一管...
该专利属于斯蒂拉科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯蒂拉科技公司授权不得商用。

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