下载连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置的技术资料

文档序号:3785218

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本发明涉及一种连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置,包括复合加热装置、温度传感器、控温仪表等。复合加热装置由炉膛侧部、上部、侧上部、侧下部布置加热元件组复合组成,长度方向多工位及高度方向温区不同功率复合控制,实现连续式定向凝固。采用上辅助加热元...
该专利属于咸阳华光窑炉设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过咸阳华光窑炉设备有限公司授权不得商用。

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