专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
咸阳华光窑炉设备有限公司
>
连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置的技术资料
文档序号:3785218
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置,包括复合加热装置、温度传感器、控温仪表等。复合加热装置由炉膛侧部、上部、侧上部、侧下部布置加热元件组复合组成,长度方向多工位及高度方向温区不同功率复合控制,实现连续式定向凝固。采用上辅助加热元...
该专利属于咸阳华光窑炉设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过咸阳华光窑炉设备有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。