下载用于半导体装置的竖直数字线的技术资料

文档序号:37852021

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提供用于竖直堆叠存储器单元阵列的系统、方法及设备,所述竖直堆叠存储器单元阵列具有:水平定向存取装置及存取线及竖直定向数字线,其具有通过沟道区分离的第一源极/漏极区及第二源极漏极区,及与所述沟道区相对的栅极,所述栅极完全围绕所述沟道区的每一表...
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