下载一种抗反向导通电流的凹栅增强型GaNHEMT及制作方法的技术资料

文档序号:37851164

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本发明提供了一种抗反向导通电流的凹栅增强型GaN HEMT结构,包括:阳极、阴极及依次堆叠的衬底、分隔层、凹栅增强型GaN HEMT器件;其中:衬底为SiC,其中包含有P型掺杂区以及N型掺杂区,且P型掺杂区包裹N型掺杂区;凹栅增强型GaN ...
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