下载特殊偶极子天线的室温拓扑绝缘体异质结光电探测器的技术资料

文档序号:37845643

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本发明公开了一种特殊偶极子天线的室温拓扑绝缘体异质结光电探测器。器件制备步骤是将化学气相沉积生长的锗铋碲转移到有二氧化硅氧化层的高阻硅衬底上,然后采用干法转移碲化铋材料与锗碲铋形成异质结,再利用紫外光刻技术制作源、漏电极,并利用紫外光刻、电...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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