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工业用机器人的手和工业用机器人制造技术
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文档序号:37844015
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本发明提供一种抑制制造成本的同时能够根据用途进行区分使用的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手14具有支承部14b,该支承部14b构成为能够支承抽吸用晶圆装载部14c和夹紧用晶圆装载部14a中的任意一方,支承部14b具...
该专利属于日本电产三协株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。
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