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本发明涉及传感器技术领域，具体涉及基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质。该方法为将探测的晶圆圆上点坐标的采集坐标输入误差点判断模块进行有效点筛选，并将采集坐标中无效点删除；通过三点求圆心坐标与四点求圆心坐标的方法分别对剩余有效点...
该专利属于厦门微亚智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门微亚智能科技有限公司授权不得商用。

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