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一种微环辅助的集成光谱重建型光谱仪结构制造技术
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文档序号:37842945
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本发明提供一种微环辅助的集成光谱重建型光谱仪结构,包括入射波导、微环谐振腔、出射波导、加载波导、下载波导、微型加热电极、接触电极、光谱重建分析模块,微环谐振腔包括第一波导、第二波导和环形波导,第一波导设有Input端口和Through端口,...
该专利属于西湖大学所有,仅供学习研究参考,未经过西湖大学授权不得商用。
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