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本发明公开一种高效抽真空装置及其超低背压运行系统，抽真空母管上沿抽真空方向依次连通有一级罗茨真空泵、二级罗茨真空泵、第一水环真空泵和第一气水分离器，一级罗茨真空泵配套有并联设置的第一旁通管路，第一旁通管路的两端分别连通在一级罗茨真空泵的入口...
该专利属于国家能源集团科学技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国家能源集团科学技术研究院有限公司授权不得商用。

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