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片上开关及其形成方法、光通信元件技术
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文档序号:37812362
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本公开涉及片上开关及其形成方法、光通信元件。该片上开关包括:依次设置并连接的输入波导、开关区域及输出波导,开关区域包括阵列的多个子区域,子区域包括相变区、波导区及占位区。该片上开关可以实现低功耗、小尺寸、性能好的效果。好的效果。好的效果。<...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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