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本发明提供一种终端保护结构及其制备方法，及一种高压功率器件。终端保护结构包括：第一导电类型的衬底、绝缘层、金属场板及保护层；衬底内形成有两个以上间隔设置的重掺杂的第二导电类型的终端环，绝缘层位于衬底表面，金属场板一端贯穿绝缘层直至与位于最外...
该专利属于华润微电子（重庆）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华润微电子（重庆）有限公司授权不得商用。

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