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逆导型绝缘栅双极晶体管及其制备方法技术
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文档序号:37806472
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本申请涉及一种逆导型绝缘栅双极晶体管及其制备方法,该逆导型绝缘栅双极晶体管包括:第一导电类型掺杂的漂移区、第二导电类型掺杂的基区、从漂移区的表面延伸入漂移区且平行排列的多个沟槽,沟槽贯穿基区且底部与漂移区接触,沟槽内设置有绝缘介质层和由绝缘...
该专利属于珠海格力电器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海格力电器股份有限公司授权不得商用。
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