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本发明公开的一种晶圆检测设备、检测方法、系统及可读存储介质，其中检测设备包括：物料载台，用于承载吸附待测晶圆；光机检测装置，位于所述物料载台的上方，用于采集待测晶圆的晶圆图像，包括相机，光源，激光器，筒镜以及物镜；主机，与所述光机检测装置通...
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